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《电子工业专用设备》杂志是由中华人民共和国新闻出版总署、正式批准公开发行的优秀期刊，电子工业专用设备杂志具有正规的双刊号，其中国内统一刊号：CN62-1077/TN，国际刊号：ISSN1004-4507。电子工业专用设备杂志社由中国电子科技集团主管、主办，本刊为月刊。自创刊以来，被公认誉为具有业内影响力的杂志之一。电子工业专用设备并获中国优秀期刊奖，现中国期刊网数据库全文收录期刊。
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《电子工业专用设备》为国内外公开发行的技术性刊物，以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向，以“公布新的科技成就，传播科技信息，交流学术思想，促进科技成果的商品化、产业化，为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为《电子工业专用设备》的为刊方针。发挥传媒优势，全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。《电子工业专用设备》主要面对国内外从事电子专用设备研究、设计、制造及应用领域的科学工作者、工程技术人员、大专院校师生及管理干部等。其宗旨是：坚持四项基本原则、贯彻“双百”方针，报导国内外电子专用设备在科研、生产中具有先进水平的科研成果，学术动态等，为促进学术与技术交流和提高我国电子专用设备科研生产水平服务，它是我国电子专用设备行业创刊最早、且唯一全面报导各类电子专用设备的刊物，在国内外影响日益扩大，读者遍布全国。

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国家新闻出版总署、400期刊网、Caj-cd规范获奖期刊2001~2002年度标准化规范化部级奖、获2003~2004年度出版质量部级奖

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