1微电子机械技术的概述
微型机械与电子技术紧密结合，将使种类繁多的微型器件问世，这些微器件采用大批量集成制造价格低廉，将广泛地应用于人类生活众多领域。可以预料在本世纪内微型机械将逐步从实验室走向适用化，对工农业、信息、环境、生物医疗、空间、国防等领域的发展将产生重大影响。微细机械加工技术是微型机械技术领域的一个非常重要而又非常活跃的技术领域。其发展不仅可带动许多相关学科的发展，更是与国家科技发展、经济和国防建设息息相关。微型机械加工技术的发展有着巨大的产业化应用前景。先进的微电子机械技术和纳米技术领域的整合需要在概念，理论和科学成果进行研讨，通过探索者的研究项目、设计模型及实际案例实施。微电子机械技术的概念合成简单，但实际应用出现混合而复杂的现象，、所有组成科学集成及其延伸链如计算机技术和信息技术等，实现了其不同的结构。微电子机械技术的演变和发展，为技术和工艺的应用提供了新的发展空间，为直接影响了产品质量和服务，提高了工作效率，增加了生活的快捷舒适，提高了经济效益和社会效益，促进了计算机产业发展，也规范了经济和社会管理中的所有进程。
2微电子机械技术发展现状
（1）微电子技术发展现状。自从IC诞生以来，IC芯片的发展基本上遵循了Intel公司创始人之一的GordonE.Moore1965年预言的摩尔定律。该定律说：芯片上可容纳的晶体管数目每18个月便可增加一倍，即芯片集成度18个月翻一番，这视为引导半导体技术前进的经验法则。换句话说，工艺技术的进展对IC集成度的提高起到乘积的效果，使得每个芯片可以集成的晶体管数急剧增加。目前，集成电路的主流技术为8英寸0.25μm，而12英寸0.18μm技术也已成熟，0.15μm、0.13μm产品已开始投产，正在向0.10μm前进，并且发展速度总是比预计的还要快。（2）微加工技术发展现状。微型机械加工技术作为微型机械的最关键技术，也必将有一个大的发展。硅加工、LIGA加工和准LIGA加工正向着更复杂、更高深度适合各种要求的材料特性和表面特性的微结构以及制作不同材料特别是功能材料微结构、更易于与电路集成的方向发展，多种加工技术结合也是其重要方向。微型机械在设计方面正向着进行结构和工艺设计的同时实现器件和系统的特性分析和评价的设计系统的实现方向发展，引入虚拟现实技术。我国在微型加工技术发展的优先发展领域是生物学、环境监控、航空航天、工业与国防等领域，建设好几个有世界先进水平的微型机械研究开发基地，同时亦重视微观尺度上的新物理现象和新效应的研究，加速我国微型机械的研究与开发，迎接二十一世纪技术与产业革命的挑战。如今，微电子机械技术进步能力实现了产品非常小的特点，以前不可能使制造的小零件或部件，采用这些创新技术能制造更小的元件，并且具有令人难以置信的公差和精度。微电子机械技术的开发，主要用于半导体行业，使用了基本材料单晶硅。在过去的发展中，已经开始发掘具有潜力的其他领域（如医疗和生物技术应用），新材料，制造（微材料微制造）。微电子机械技术发展也促进了在微机械范围内的微机械加工工艺，例如微细电火花加工、微铣削、微注射、微原型等。例如微铣削技术，通过采用最新的数控系统，特别适用于加工复杂的三维几何形状，这项技术应用的重要领域尤其适用于微小零件制造手表，锁孔技术，微型发动机，微注塑成型和热压成型模具插入，外壳和包装解决方案，微光学和微流体的外壳设备等，在所有这些应用领域面临的共同挑战是微观特征尺寸小于100微米的加工。微型激光切割和加工则向小型化，尤其是在消费电子和医疗设备市场在激光材料加工机的应用发展，可以制作永久性标记或微观尺度的组件。激光加工的作用明显，维护简便，运行成本低，可靠性极高。
3微机械技术面临的问题
微型机械不是传统机械直接微型化，它远超出了传统机械的概念和范畴。微型机械在尺度效应、结构、材料、制造方法和工作原理等方面，都与传统机械截然不同。微系统的尺度效应、物理特性研究、设计、制造和测试研究是微系统领域的重要研究内容。在微系统的研究工作方面，一些国内外研究机构已在微小型化尺寸效应，微细加工工艺、微型机械材料和微型结构件、微型传感器、微型执行器、微型机构测量技术、微量流体控制和微系统集成控制以及应用等方面取得不同程度的阶段性成果。微型机械加工技术是微型机械发展的关键基础技术，其中包括微型机械设计微细加工技术、微型机械组装和封装技术、为系统的表征和测量技术及微系统集成技术。
4微机械技术在我国发展的现状与对策
微机械技术是微电机机械技术发展的基础。目前，我国的微电子技术还相对比较落后，但是，由于微机械技术不需要太细的线条，加之我国的微机械技术的长期发展，从而对我国发展微电子机械技术的发展并没有带来太大的挑战与问题。中国目前的微机械技术足以应用于当前工业生产的需求。另外，我国的半导体技术已经相当成熟，足以满足微机械的发展要求。因此，只要我们把握得当，我国发展微电子机械技术还是有一定的前景与展望的。
作者：金本忠 单位：高邮中等专业学校
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