本文作者：武金亮；周琦；高晓宇；胡梦晴；秦东林；成功正常投稿发表论文到《通讯世界》2015年04期,引用请注明来源400期刊网！
【摘要】：随着我国科技的不断进步,MEMS传感发展迅猛,在各个领域内得到广泛应用。再次情况下,本文阐述了MEMS技术的特点,分析了其在各领域内的具体应用情况,并对MEMS传感器的发展趋势进行了展望。
【论文正文预览】：1引言MEMS传感器是通过微机械加工技术所研制出的新型传感器,为MEMS的重要组成部分。随着MEMS技术的发展,MEMS传感器性能也在不断提升,并逐渐成为一些发达国家的战略性研究方向之一。MEMS传感器由于具备重量轻、体积小、灵敏度高、功耗低等优点,在很大程度上促进了其微型化、
【文章分类号】：TP212
【稿件关键词】：微电子机械系统(MEMS)传感器应用
【参考文献】:

• 康健;王伯雄;刘涛;胡仲翔;崔圆圆;;基于永磁铁的平行追踪对接技术[J];清华大学学报(自然科学版);2010年07期
• 刘涛;王伯雄;崔园园;罗秀芝;;水平定向钻进的轨迹误差分析与优化[J];清华大学学报(自然科学版);2011年05期
• 殷春燕;;室内导航带来智能手机新商机,MEMS传感器加速系统融合[J];集成电路应用;2012年08期
• 程海林;黄昌正;郝志峰;张娜;王磊;陈曦;周智恒;;基于弯曲与组合MEMS传感器的数据手套设计[J];广东科技;2013年06期
• 李铮;;MEMS传感器在车辆运动状态监测系统中的应用[J];计算机光盘软件与应用;2012年22期
• 桂志鹏;黄德昌;肖湘;谢晓峰;;基于MEMS传感器的军民两用戒指型无线麦克风系统的设计[J];中国科技信息;2012年07期
• 王铁流;沈京;张强永;王瑛;;基于MEMS传感器的输电杆塔倾摆安全监测技术[J];测控技术;2013年05期
• 欧毅;白宏磊;石莎莉;焦斌斌;李超波;黄钦文;董立军;景玉鹏;陈大鹏;叶甜春;申功;;应用于流动控制的MEMS传感器和执行器[J];电子工业专用设备;2006年01期
• 许晓青;王宝光;孙春生;;基于MEMS传感器技术的微型化、数字式倾角仪的研究[J];电子测量技术;2008年02期
• 王宇;张晓明;白渚铨;赵鑫炉;;适用于电容式MEMS传感器的微小电容检测系统[J];电子技术应用;2014年05期
• 时志云;王代华;张志杰;;高精度MEMS传感器在弹载测试系统上的应用[J];传感器与微系统;2008年07期
• 周成刚;毛亮;张煜昕;;基于MEMS传感器的船载天线振动监测系统研究[J];国外电子测量技术;2012年05期
• ADI微机械产品线高级应用工程师 赵延辉;MEMS传感器走向低功耗、集成化[N];中国电子报;2012年
• 刘博;基于MEMS传感器的动作捕捉系统开发设计[D];北京理工大学;2011年
• 施湛;基于MEMS传感器的高精度地震波采集系统研究[D];杭州电子科技大学;2014年
• 吴艳;基于MEMS传感器的无线传感网络研究[D];杭州电子科技大学;2012年

【稿件标题】：【mems传感器上市公司】MEMS传感器现状及应用
【作者单位】：杭州电子科技大学;
【发表期刊期数】：《通讯世界》2015年04期
【期刊简介】：《通讯世界》杂志是由中华人民共和国新闻出版总署、正式批准公开发行的优秀期刊，通讯世界杂志具有正规的双刊号，其中国内统一刊号：CN11-3850/TN，国际刊号：ISSN1006-4222。通讯世界杂志社由中华人民共和国科学技术部主管、主办，本刊为刊。自创刊以来，被......更多通讯世界杂志社(http://www.400qikan.com/qk/8614/)投稿信息
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