本文作者:赵为刚;阴旭;刘翠荣;杜超;成功正常投稿发表论文到《机械管理开发》2015年03期,引用请注明来源400期刊网!
【摘要】:为了促进阳极键合技术在微机电系统封装环节的使用,开发一种离子导电聚合物代替原有的封装键合材料。设计利用聚氧化乙烯(PEO)作为基体,碱金属锂盐(LiClO4、LiPF6、LiBF4)作为电解质材料,利用高能球磨法对材料混粉进行研磨,使之充分络合,并分析其在不同制备参数下材料导电性的变化。最终利用m(PEO)∶m(LiClO4)为10∶1,在球磨转速为250r/min、球磨时间为8h、球料比为7∶1时,所得材料导电性最佳。将所制备PEO-LiClO4与铝箔进行阳极键合,在键合参数为:预热100℃、预设电压800V、键合时间10min的条件下,键合质量良好,有过度层产生,这也是能键合成功的关键。说明所制备离子导电聚合物PEO-LiClO4满足阳极键合要求。
【论文正文预览】:引言阳极键合技术[1]是一个有着五十多年的研究历史,并逐步在实际生产中得到应用的一种连接技术,它最大的优势在于可以在很低的键合温度下以及不需要加入其他材料就能实现良好焊合[2],这样的优势为其发展提供了广阔的空间,现在主要应用到微机电系统生产过程中的封装环节[3-5]
【文章分类号】:O631.23;TH-39
【稿件关键词】:MEMS封装阳极键合离子导电聚合物球磨制备
【参考文献】:
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【稿件标题】:[导电聚合物的应用论文]阳极键合中离子导电聚合物的开发
【作者单位】:太原科技大学材料科学与工程学院;
【发表期刊期数】:《
机械管理开发》2015年03期
【期刊简介】:《机械管理开发》杂志是由中华人民共和国新闻出版总署、正式批准公开发行的优秀期刊,机械管理开发杂志具有正规的双刊号,其中国内统一刊号:CN14-1134/TH,国际刊号:ISSN1003-773X。机械管理开发杂志社由山西省经济和信息化委员会 主管、主办,本刊为刊。自......更多
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[导电聚合物的应用论文]阳极键合中离子导电聚合物的开发
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