本文作者：翟耘萱；张翼；于航；成功正常投稿发表论文到《科技创新与应用》2015年19期,引用请注明来源400期刊网！
【摘要】：氧化锌混合氧化铝薄膜是由导体的氧化锌和绝缘体的氧化铝充分混合而成的复合材料。随着氧化锌和氧化铝的组成变化,氧化锌混合氧化铝薄膜的电阻率可以在10-2Ωcm到1016Ωcm变化。氧化锌混合氧化铝薄膜出现为微通道板打拿极导电层提供了一种新的材料选择。以二水合乙酸锌和六水合氯化铝为前驱物,用溶胶-凝胶的方法制备四个组分的氧化锌混合氧化铝薄膜样品。用原子力显微镜和伏安法测方块电阻的方式对薄膜的表面形貌和电阻率表征。最后对测试的电阻数据进行拟合,得到样品铝含量和样品电阻率的关系曲线。
【论文正文预览】：引言AZO薄膜是由ZnO和Al2O3共同沉积,充分扩散形成的复合薄膜。通过改变ZnO和Al2O3的比例,AZO薄膜介电常数、晶格常数、硬度、表面粗糙度、反射率、折射率、电荷存储容量和电阻率都可以明显的改变[1]。AZO薄膜被广泛的应用于液晶电视和太阳能电池等领域。国内关于低阻AZO薄
【文章分类号】：TB33;TB383.2
【稿件关键词】：溶胶-凝胶氧化锌混合氧化铝薄膜薄膜微通道板导电层
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【稿件标题】：【溶胶凝胶】溶胶凝胶制备高阻AZO和电阻率的测试
【作者单位】：长春理工大学理学院;
【发表期刊期数】：《科技创新与应用》2015年19期
【期刊简介】：《科技创新与应用》杂志是由中华人民共和国新闻出版总署、正式批准公开发行的优秀期刊，科技创新与应用杂志具有正规的双刊号，其中国内统一刊号：CN23-1581/G3，国际刊号：ISSN2095-2945。科技创新与应用杂志社由黑龙江出版集团有限公司主管、主办，本刊为旬......更多科技创新与应用杂志社(http://www.400qikan.com/qk/9454/)投稿信息
【版权所有人】：翟耘萱；张翼；于航；

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