本文作者：成功正常投稿发表论文到《企业技术开发》2009年03期,引用请注明来源400期刊网！

【摘要】：正我国"极大规模集成电路制造装备及成套工艺"重大专项进入全面实施阶段。据介绍,"极大规模集成电路制造装备及成套工艺"重大专项旨在开发集成电路关键制造装备,掌握具有自主知识产权的成套先进工艺及相关新材料技术,打破我国高端集成电路制造装备与工艺完全依赖进口的
【论文正文预览】：MerrillSheils,孙材济;人类创造了集成电路基片之后[J];世界科学;1981年09期
【文章分类号】：我国“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大专项进入全面实施阶段。据介绍,“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大专项旨在开发集成电路关键制造装备,掌握具有自主知识产权的成套先进工艺及相关新材料技术,打破我国高端集成电路制造装备与工艺完全依赖进口的状况
【稿件关键词】：F426.63
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【稿件标题】：【大规模集成电路计算机】我国全面实施“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大专项
【作者单位】：极大规模集成电路制造装备先进工艺成套自主知识产权新材料技术实施阶段重大完全依赖全面实施
【发表期刊期数】：《企业技术开发》2009年03期
【期刊简介】：《企业技术开发》一直以传承先进的科学知识，弘扬优秀的企业文化，全心全意为读者服务，踏踏实实为企业办事为宗旨，一贯坚持为读者服务，为企业办事的方针，以促进企业发展，加强科技创新为己任，团结聚集了一大批关注中国企业发展，关心企业成长的各界人士，......更多企业技术开发杂志社(http://www.400qikan.com/qk/921/)投稿信息
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